具有直线性的等离子体出口的电子回旋共振等离子体源

摘要

本发明涉及一种具有一直线性的等离子体出口(9，27，28，30)的电子回旋共振等离子体源，它包括一个等离子体室，在其中配有一个中心的波分配器，以及在直线性的等离子体出口的区域内配置一个多极磁场装置。作为中心的波分配器有至少两个单独的波分配器(3，4)，它们分别安置在一个部分等离子体室(1，2，21，22，32，33)中。在每个部分等离子体室处设置了一个直线性的部分等离子体出口(7，8，23，24，34，35)，并配有多极磁场装置(10，11，38，39)。所述至少两个直线性的部分等离子体出口(7，8，23，24，34，35)是如此地相对布置的，使得它们共同地形成电子回旋共振等离子体源的至少一个等离子体出口(9，27，28，30)。