具有镀层防护的电子回旋共振等离子体源及该镀层防护的应用

摘要

本发明涉及电子回旋共振等离子体源，由壳体、中央的波分配器（12）及在壳体与中央的波分配器（12）之间的镀层防护（7）构成。依据本发明，镀层防护（7）由有机的或矿物质的纤维材料制成。纤维材料可以是由玄武岩、碳材质或氧化铝制成的纤维织物或毛毡织物，且镀层防护（7）的面朝等离子体空间的表面可至少部分具有敞开的织物结构。镀层防护可被应用于遮盖任意表面，这些表面暴露给等离子体并且在各所使用的等离子体过程中不应被镀层。