采用光刻和干刻制造碳纳米管多层图案的方法

摘要

本发明涉及形成CNT多层膜图案的方法，该方法包括通过酰胺键重复地将具有曝露的羧基基团的CNTs结合到具有曝露的胺基基团的衬底上，获得CNT多层膜，然后从CNT多层膜通过光刻法和干刻法形成CNT多层膜图案。此外，本发明涉及将具有曝露的各种化学官能团的CNT多层膜图案的制造方法，该方法包括对前述方法获得的CNT多层膜图案进行热处理，获得表面无缺陷点位存在的CNT多层膜图案，然后将表面活性剂或具有能进行π-重叠的部位的化学物质物理结合到无缺陷点位存在的CNT多层膜图案上。本发明使得CNTs仅在所选择的区域发生连接形成清楚的CNT多层膜图案成为可能。因此，本发明提供了现有技术中存在的CNTs也被结合到非选择性区域的问题的解决方案。此外，结合了曝露于表面的化学官能团的本发明CNT多层膜图案将被用于制造生物传感器。