一种改善旋转喷涂制备NiZn铁氧体薄膜性能的方法

摘要

一种改善旋转喷涂制备NiZn铁氧体薄膜性能的方法，属于薄膜制备技术领域。包括：1)清洗基板；2)将可溶性二价铁盐、镍盐、锌盐加入去离子水中，配制还原反应液；将亚硝酸钠、乙酸盐、乙酸加入去离子水中，配制氧化反应液；3)在基板温度90～95℃、旋转速度100～150r/min、氧化和还原反应液的供应速率0.6～1.0L/h、超声雾化功率2～3W的条件下，沉积10～60min。本发明通过在氧化液中预先构建乙酸‑乙酸钠缓冲对，提高溶液反应体系中OH‑离子浓度稳定性，提高旋转喷涂法制备NiZn铁氧体薄膜的成膜质量，使薄膜具有更好的结晶性、更均匀的晶粒和更高的饱和磁化强度、磁导率。