旋转喷涂法制备NiZn铁氧体薄膜及其在薄膜电感器中的应用研究

目录

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第一章 绪论

1.1 课题价值及意义

1.2 研究现状及进展

1.2.1 薄膜电感器的分类

1.2.2 薄膜电感器研究现状

1.2.3 铁氧体薄膜研究现状

1.3 论文各部分的主要内容

第二章 NiZn 铁氧体薄膜的制备及性能调控

2.1 铁氧体薄膜制备原理

2.1.1 铁氧体薄膜的制备方法

2.1.2 旋转喷涂法薄膜制备原理

2.2.1 旋转喷涂法制备NiZn铁氧体薄膜的实验设备

2.2.2 旋转喷涂法制备NiZn铁氧体薄膜的实验条件

2.2.3 旋转喷涂法制备铁氧体薄膜的实验步骤

2.3.1 X射线衍射

2.3.2 振动样品磁强计

2.3.3 扫描电子显微镜

2.3.4 矢量网络分析仪

2.4 实验结果与分析

2.4.1 Zn含量对薄膜相结构、微观形貌及磁性能的影响

2.4.2 亚硝酸钠浓度对薄膜相结构、微观形貌及磁性能的影响

2.4.3 衬底沉积温度对薄膜相结构、微观形貌及磁性能的影响

2.4.4 不同衬底对薄膜相结构、微观形貌及磁性能的影响

2.5 本章小结

第三章 薄膜电感器的设计及仿真

3.1 COMSOL Multiphysics 电磁仿真软件

3.2 薄膜电感器设计

3.2.1 薄膜电感器的性能参数

3.2.2 薄膜电感器的设计分析

3.2.3 环型电感器结构设计

3.2.4 电感器仿真流程

3.3.1 初步仿真结果

3.3.2 磁性薄膜厚度对电感性能的影响

3.3.3 线圈厚度对电感性能的影响

3.3.4 线圈宽度对电感性能的影响

3.4 本章小结

第四章 薄膜电感器制备工艺

4.1.1 刻蚀工艺

4.1.2 铜电镀工艺

4.1.3 聚酰亚胺的制备

4.2.1 版图绘制

4.2.2 整体工艺流程

4.3 工艺制备结果

4.4 本章小结

第五章 电感器性能测试及分析

5.1 电感器性能测试原理

5.1.1 电感器S参数测试原理

5.1.2 电感器参数提取

5.2 电感器性能测试结果分析

5.3 本章小结

第六章 结论

6.1 论文主要结论

6.2 后续工作展望

致 谢

参考文献

攻读硕士学位期间取得的成果