位移测量装置以及使用该装置的形状检查装置

摘要

本发明提供一种测量技术，借由具备可根据被测量物上的测量点的形状而从不同角度检测出正反射的光的复眼功能的光传感器，其不仅测量顶点或平坦面的位移也测量斜面的位移。其具备多个受光部(200)、(210)、(220)，利用投光部(100)，使光在被测量物上的测量点聚光，接收来自测量点的正反射的反射光，多个受光部在包括所照射的光并与大致垂直于被测量物的平面交叉的方向上，以测量点为轴大致排列为扇形，且各受光部的受光面所占据的可从测量点接收光的受光范围，以邻接的受光部的受光面彼此相连续的方式而配置。