一种石英圆柱谐振子第二次谐波误差的化学修调方法

摘要

本发明属于振动陀螺技术领域，公开了一种石英圆柱谐振子第二次谐波误差的化学修调方法，所述方法包括步骤：A、通过扫频方法获得谐振子的本征频率、频率裂解和固有刚性轴方位；B、根据谐振子的本征频率、质量、振幅比，计算谐振子的第二次谐波误差值；C、根据化学修形的浸没深度、倾斜角度、谐振子的第二次谐波误差值和化学刻蚀液的刻蚀速率计算化学修形时间；D、根据化学修形时间，利用化学刻蚀液沿低频轴方位间隔180°的两个位置上对谐振子刻蚀。通过在谐振子n＝1模态的低频轴方位去除特定质量来降低第二次谐波误差值，该方法能够进一步改善谐振子的一致性和对称性，降低输出信号中的噪声，提高圆柱振动陀螺的精度。