合成波干涉纳米表面三维在线测量系统及方法

摘要

合成波干涉纳米表面三维在线测量系统及方法，量程决定于合成波长，共路干涉结构。利用双周期光栅的双色散特性将谱宽40nm光束色散成两个波长在空间连续均匀分布的扇形光片，经准直成两个横向错位并部分重叠的平行光片，重叠部分形成合成波。合成波平行光片经过平面镀半透半反膜的平柱聚焦透镜，一半光强被反射作为参考光，另一半光强被聚焦成光线，由不同被测点反射，与参考光干涉后由线阵CCD探测。测出CCD每个像素干涉信号相位变化量，即测出对应被测点纵向变化值。一次定位完成表面二维测量；光线横向扫描完成表面三维测量。测量速度高，成本低。测量量程600～1000μm，分辨率优于5nm，适用于具有凸台和深槽的纳米表面测量。