利用合成波干涉全场纳米表面三维在线测量方法和系统

摘要

本发明公开了一种利用合成波干涉全场纳米表面三维在线测量方法和系统，量程决定于合成波长，共路干涉结构。双周期光栅的双色散特性将谱宽40nm光束色散成两个波长在空间连续均匀分布的扇形光片，经准直成两个横向错位并部分重叠的平行光片，重叠部分形成合成波。合成波平行光片经两个共焦平柱透镜扩束，再经一面镀半透半反膜的平行玻璃板，一半光强被反射作为参考光，另一半光强由不同被测点反射，与参考光干涉后由面阵CCD探测。测出CCD每个像素干涉信号相位变化量，即测出对应被测点纵向变化值。一次定位完成表面三维测量。测量速度高，成本低。测量量程600～1000μm，分辨率优于5nm，适用于具有凸台和深槽的纳米表面测量。