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光学构件的支撑方法及支撑构造、光学装置、曝光装置、以及元件制造方法

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摘要

将间隔构件(93)配置于复数个透镜中最下端的透镜(92)与配置于其下方的平行平板(94)间，藉由吸引透镜(92)及平行平板的一部分，使平行平板悬吊支撑于透镜(92)。藉此，不须将间隔构件(93)作成较平行平板(94)大，与采用藉由把持来保持平行平板(94)的保持机构相较，能确保平行平板(94)附近的空间。又，由于不把持平行平板(94)，因此能避免平行平板(94)的变形，抑制像差产生于投影单元(PU)。

著录项

公开/公告号CN100490065C

专利类型发明授权
公开/公告日2009-05-20

原文格式PDF
申请/专利权人尼康股份有限公司;
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申请/专利号CN200580019968.8
发明设计人柴崎祐一;
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申请日2005-07-14
分类号H01L21/027(20060101);G02B7/02(20060101);G02B7/00(20060101);G03F7/20(20060101);
代理机构11234 中国商标专利事务所有限公司;
代理人万学堂
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:02:23

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2012-09-12

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/027 授权公告日:20090520 终止日期:20110714 申请日:20050714

专利权的终止
2009-05-20

授权

授权
2007-07-18

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-05-23

公开

公开

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