薄膜电晶体制造方法及将非晶层转成复晶层或单晶层方法

摘要

本发明提供一种薄膜电晶体的制造方法。首先，形成一缓冲层于基板上，并形成一第一单晶层于缓冲层上。其后，形成一非晶层于第一单晶层上，以一激光退火方法，将非晶层转换成一结晶层。该结晶层为一复晶层或第二单晶层；接着，形成一闸极介电层于复晶层上。后续，形成一闸电极于闸极介电层上。本发明的薄膜电晶体适用于液晶显示器。可提升薄膜电晶体元件的电子移动率，并且可以缩短传统使用分子束磊晶沉积单晶硅的时间。