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用于调整接合装置的部件之间的相对位置的系统

摘要

本发明接合装置包括可移动接合头夹头、配置为与接合头夹头一起移动的参考标记、翻转头夹头、第一和第二成像装置和调整机构。在使用中,第一成像装置捕获参考标记和翻转头夹头的一个或多个图像,以及第二成像装置捕获参考标记和接合头夹头的一个或多个图像。基于从翻转头夹头、接合头夹头和参考标记的图像确定的偏移,调整机构将接合头夹头的位置与翻转头夹头的位置对准。翻转头夹头拾取电气部件,并将电气部件传送给在对准位置的接合头夹头。

著录项

  • 公开/公告号CN108063104B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-02-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 先进科技新加坡有限公司;

    申请/专利号CN201711051748.4

  • 申请日2017-10-30

  • 分类号H01L21/67(20060101);H01L21/683(20060101);

  • 代理机构11214 北京申翔知识产权代理有限公司;

  • 代理人艾晶

  • 地址 新加坡2义顺7道

  • 入库时间 2022-08-23 13:10:28

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