法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-11-24
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/20 授权公告日:20090603 终止日期:20161002 申请日:20021002
专利权的终止
2009-06-03
授权
授权
2009-06-03
授权
授权
2005-03-09
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-03-09
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-01-12
公开
公开
2005-01-12
公开
公开
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机译: 信息获取装置,截面评估装置,截面评估方法和截面加工装置
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