AOI设备显微镜缺陷检测图片质量评价方法及系统

摘要

本发明公开了AOI设备显微镜缺陷检测图片质量评价方法及系统，方法包括以下步骤：根据检测对象的检测图片，获取采样点集；根据采样点集，获取评估模板、标准清晰度值、每个采样点的实际清晰度值和采样点集的清晰度阈值；比对每个采样点的实际清晰度值和标准清晰度值的差值与清晰度阈值，获取第一比对结果；根据第一比对结果，获取检测图片的糊图率；匹配评估模板和每个采样点，获取匹配位置坐标；根据获取的匹配位置坐标以及采样点集的中心位置，获取整体拍照位置偏差值；比对每个采样点和整体偏差值，获取检测图片的拍照位置准确性。本发明为评价AOI设备检测图片的糊图率和拍照位置准确性两项指标提供了一种自动化的精确评价方法。