一种用于高分辨力和高精度平面位移测量的二维光栅

摘要

一种用于高分辨力和高精度平面位移测量的二维光栅，包括：盘体和编码标线。其中，盘体为镀有不透光镀膜的玻璃材质，或者不透光的金属材质构成；编码标线是一组透光的标线，按照特定的编码排列。以x代表横向维度的编码元，y代表纵向维度的编码元，那么编码标线包括分别代表{x＝0,y＝0}，{x＝1,y＝0}，{x＝1,y＝1}，{x＝0,y＝1}的四种编码标线，所有编码标线的横向间距相同，纵向间距也相等。当采用图像传感器对码盘进行成像，便可以实现对编码值的识别，进而通过译码表获取横向和纵向的位移信息。同时，由于所有编码标线的间距相同，可以方便的通过质心运算实现位移的细分运算。本发明通过与图像识别相配合，可以实现高分辨力、高精度的二维位移测量。