一种非球面反射镜曲率半径检测装置及方法

摘要

本发明属于镜面检测技术领域，提供了一种CGH补偿器及基于该CGH补偿器的非球面反射镜曲率半径检测装置，对中心带有孔的非球面镜进行检测。通过获取待检镜面形误差及离焦量，根据离焦量计算得到待检镜的曲率半径误差，利用曲率误差公式对各个区域的测量值进行合成，得到曲率半径误差，得到待检镜的曲率半径。