大口径非球面反射镜顶点曲率半径的检测装置和方法

摘要

一种大口径非球面反射镜顶点曲率半径的检测装置和方法，其装置包括组合测杆、测微头、顶点测量基准转换器和支撑架。顶点测量基准转换器安装在主镜中心孔内，测微头安装在组合测杆的两端，组合测杆通过支撑架支撑安装在主镜光轴上。测量前首先采用高精度的测量仪器标定该装置，测量时调整该装置，通过测量最后计算出测量结果。本发明不仅可以用于非球面主镜加工的在线检测，而且可以实现光学系统装调时保证主次镜间距。本发明测量精度高，使用简单方便，效率高，重复性好，避免了采用昂贵的大尺寸测量仪器，简化了测量系统的配置，降低了检测成本。适合于大光学加工企业、科研院所和检测计量单位使用。