光刻设备及器件制造方法

摘要

一种具有高驱动力、高效率和低法向力的直线马达，包括两个相对磁体轨道11、12和电枢13，电枢包括三个开路线圈组。直线马达可以用于在光刻投影设备中驱动一工作台，特别是掩模台。