公开/公告号CN108369382B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-02-05
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201680071426.3
申请日2016-09-15
分类号G03F7/20(20060101);G03F9/00(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王静
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 11:31:18
机译: 控制光刻设备的方法以及用于光刻设备的设备制造方法控制系统和光刻设备
机译: 控制光刻设备的方法和设备制造方法,用于光刻设备的控制系统和光刻设备
机译: 控制光刻设备的方法和设备制造方法,用于光刻设备的控制系统和光刻设备