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公开/公告号CN113070111B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-01
原文格式PDF
申请/专利权人 吉林大学;
申请/专利号CN202110333439.6
发明设计人 殷志富;杨雪;李露;胡伟;贾炳强;
申请日2021-03-29
分类号B01L3/00(20060101);
代理机构22212 长春市恒誉专利代理事务所(普通合伙);
代理人梁紫钺
地址 130012 吉林省长春市前进大街2699号
入库时间 2022-08-23 13:03:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-02-01
授权
发明专利权授予
机译: 在边缘上制造纳米尺度结构的方法和在边缘上制造的纳米尺度结构的方法
机译: 制造三维纳米尺度结构的装置和使用相同结构制造三维纳米尺度结构的方法
机译: 用于制造线栅极化器的模具组件以及一种通过使用模具组件来制造线栅极化器的方法,该方法能够形成纳米尺度的条纹图案,并与注入方案进行比较
机译:一种新的SU-8微纳米通道和电动流体动力喷射芯片针尖的新型低成本制造方法
机译:一种新型纳米通道制造,用于纳米流体应用,通过微图案化X射线掩模使用同步辐射辐射
机译:从介观尺度到纳米尺度的神经解剖学:一种通过高分辨率扫描电子显微镜观察半薄切片的改进方法
机译:一种模拟纳米通道流的多尺度方法
机译:多功能聚合物纳米复合材料涂料的可持续设计和制造:一种多尺度系统方法。
机译:在Si和Ge表面上进行微尺度/纳米尺度制造和构图的通用免光刻方法
机译:一种CmOs兼容工艺技术,用于制造横向嵌入的多纳米通道而无需牺牲蚀刻