一种基于碳纳米管模板制造纳米尺度通道流控器件的方法

摘要

本发明涉及一种基于碳纳米管模板制造纳米尺度通道流控器件的方法，包括PDMS微米沟道基底制造、碳纳米管模具制造和PDMS纳米通道流控器件制造三大步骤，利用碳纳米管在交流电场和超声振动作用下，可形成均匀分布、方向一致的碳纳米管，为纳米通道的制造提供模具，与现有纳米通道制作方法相比，本发明优势在于制造工艺简单，操作方便，成本更低，无需依赖于超净间设备，给10纳米尺度通道的制备提供参考，有利于纳米尺度通道的应用和推广。