具有对准标识的晶圆组件及其形成方法、晶圆对准方法

摘要

本发明提供了一种具有对准标识的晶圆组件及其形成方法、晶圆对准方法，对准标识分布在第一晶圆和第二晶圆的键合层以及介质层中，第一晶圆中经第一点状标识和第一块状标识两层标识的反射光叠加从而保证了对准标识的图案清晰度，第一点状标识位于第一键合层中，且所述第一点状标识的上表面与所述第一键合层的上表面齐平，位于键合面上的第一点状标识保证微观平整度，键合后无空隙；同时位于键合面上的第一点状标识，还消除了不同层间的套刻精度误差。第二晶圆与第一晶圆同理。键合机台使用该对准标识既能消除不同层间的套刻精度误差，提高图案清晰度的同时解决键合空隙的问题。