公开/公告号CN110375901B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-25
原文格式PDF
申请/专利权人 东莞材料基因高等理工研究院;广东书彦材料基因创新科技有限公司;
申请/专利号CN201910605907.3
申请日2019-07-05
分类号G01L1/25(20060101);
代理机构44288 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙);
代理人汤喜友
地址 523808 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区礼宾路1号松山湖控股大厦9楼
入库时间 2022-08-23 13:02:24
机译: 工艺表面层内应力的测量方法和内应力测量仪
机译: 工艺表面层内应力的测量方法和内应力测量仪
机译: 用于SPFS的表面等离子激发传感器(表面等离子增强荧光光谱)或使用相同的测量方法,用于制造表面等离子激发传感器的套件以及用于测量包含测量或测量结果的SPFS的测量方法的测量仪器