公开/公告号CN111081162B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-25
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市丽晶光电科技股份有限公司;
申请/专利号CN202010015460.7
申请日2020-01-07
分类号G09F9/33(20060101);F16B11/00(20060101);
代理机构44599 深圳市深可信专利代理有限公司;
代理人丘杰昌
地址 518000 广东省深圳市宝安区福永街道蚝业路旭竟昌工业园B2栋
入库时间 2022-08-23 13:02:19
机译: 可解决的包括碳同素异形体的硬掩模组合物,使用可解决的硬掩模组合物制造硬掩模的方法以及硬掩模
机译: 用于测试沉积工艺的掩模组件,包括该掩模组件的沉积设备以及使用该掩模组件的用于沉积工艺的测试方法
机译: 用于测试沉积工艺的掩模组件,包括该掩模组件的沉积设备以及使用该掩模组件的用于沉积工艺的测试方法