制造电隔离金刚石纳米线和应用

摘要

一种制造电隔离金刚石纳米线的方法包括：在金刚石衬底上形成金刚石纳米线；在所述金刚石纳米线和所述金刚石衬底上沉积电介质或聚合物；将所述电介质或所述聚合物平坦化；蚀刻平坦化的所述电介质或所述聚合物的一部分以暴露所述金刚石纳米线的第一部分；沉积金属层以适形地覆盖所述金刚石纳米线的所述第一部分；以及将离子注入所述金刚石纳米线的位于所述金刚石纳米线的所述第一部分与所述金刚石衬底之间的第二部分中、或者注入所述金刚石纳米线与所述金刚石衬底的相交部；其中，所述离子被从所述金刚石纳米线的第一侧以倾斜的角度注入。