MEMS元件和具有MEMS元件的移动设备

摘要

本公开涉及MEMS元件、具有MEMS元件的设备以及移动设备。该MEMS元件包括：MEMS声变换器和电路装置，所述MEMS声变换器具有膜片结构和对应的对电极结构，所述电路装置与MEMS声变换器电耦合，并且所述电路装置还被构造用于：在MEMS声变换器的在音频频率范围内的第一运行模式中，基于由声学声压改变量引起膜片结构相对于对电极结构的偏移来检测MEMS声变换器的音频输出信号，并且在MEMS声变换器110的在超声波频率范围内的第二运行模式中，作为超声波发射接收器来控制并且读取MEMS声变换器。