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产生源分析装置及产生源分析方法

摘要

分析以气体形态排出的对象成分的产生源。提供一种产生源分析装置,其包含获取含对象成分的气体的浓度测定值和与气体关联而产生的粒子成分的浓度测定值的获取部以及根据气体的浓度测定值与粒子成分的浓度测定值来分析从测定地点到对象成分产生源的距离的分析部。获取部可获取生成粒子成分的原料即前驱气体的浓度测定值与由前驱气体产生的二次生成粒子成分的浓度测定值。

著录项

  • 公开/公告号CN107340209B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-12-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 富士电机株式会社;

    申请/专利号CN201710281182.8

  • 申请日2017-04-26

  • 分类号G01N15/06(20060101);

  • 代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人周全

  • 地址 日本神奈川县

  • 入库时间 2022-08-23 12:59:56

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