具有角度监测的薄膜厚度与折射率同时测量的装置及方法

摘要

本发明提供一种具有角度监测的薄膜厚度与折射率同时测量的装置及方法，属于光学测量领域，包括宽谱光输出模块、窄线宽激光输出模块、薄膜测量模块、解调干涉仪模块以及采集与控制模块等五个主要部分。本发明基于偏振复用的原理，利用双面四探头的测量结构，在对薄膜厚度及折射率测量的基础上，实现对其角度偏移进行监测及校正，提升厚度测量准确性的同时可对薄膜厚度均匀性的评价。偏振复用技术的采用消除了透射光影响，降低特征干涉峰的识别难度。本发明实现不需要额外的装置即可实现对薄膜的偏转角度进行测量，具有薄膜厚度与折射率测量准确性高、评价结果丰富、自校准、自标定、可溯源以及测量系统稳定性高等优点。