非晶硅薄膜晶体管液晶显示器及其制造方法

摘要

本发明披露了一种非晶硅薄膜晶体管液晶显示器及其制造方法。在绝缘基片(110)上形成具有栅极线(112a-112f)和栅极的栅极图案，该绝缘基片包含显示区域和具有移位寄存器的驱动电路区域。在该基片上连续形成包含源极/漏极的栅极绝缘层(114)活性层图案(118a-118d)和数据图案。在其上形成钝化层(130)，且具有露出显示区域的漏极的第一接触孔(41)、分别露出各移位寄存器的第一晶体管的栅极和源极/漏极的第二及第三接触孔(42，43)。在钝化层(130)上形成电极图案(140，142)，且包含与显示区域的漏极(118b)连接的第一电极(140)、将栅极与源极/漏极连接的第二电极。在基片上集成包含移位寄存器和布线的栅极驱动电路，从而简化了薄膜晶体管液晶显示器的制造工艺。