高像质非晶硅薄膜晶体管液晶显示器的研究

摘要

非晶硅薄膜晶体管液显示器(a-Si TFT-LCD)现已成为笔记本电脑、液晶电视等高像质显示终端的主导技术,目前,它的制造技术在国外已比较成熟,国内比较落后,特别在大尺寸、成品率和显示性能方面落后更多.该文根据国内的现有技术水平,侧重高成品率和高显示性能a-Si TFT-LCD器件的设计和制备.主要工作包括高光电性能a-Si TFT功能膜的制备、高成品率高显示性能a-Si TFT阵列的设计与制备、高成品率高显示性能a-Si TFT-LCD器件的设计与制备等.用a-Si TFT作为开关元件的a-Si TFT-LCD,是利用a-Si TFT的开态对像素电容快速充电来实现对信号的响应,利用a-Si TFT的关态保持像素电容上的电荷来完成对信号的存储,a-Si TFT起到消除行间串扰和对电荷的高保持作用.a-Si TFT由多层材料、厚度及性能不同的功能膜组成,该文用溅射法制备ITO和Al/Cr薄膜,用PECVD法制备SiNx、a-Si和n<'+>a-Si薄膜,利用H处理提高a-Si的迁移率.这些功能膜的性能和制备条件参数满足高像质a-Si TFT-LCD器件的要求.