公开/公告号CN113516656B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-14
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江双元科技股份有限公司;
申请/专利号CN202111071256.8
申请日2021-09-14
分类号G06T7/00(20170101);G06K9/62(20060101);G06N3/04(20060101);
代理机构33224 杭州天勤知识产权代理有限公司;
代理人彭剑
地址 310015 浙江省杭州市上城区莫干山路1418号标准厂房2号楼上城科技基地
入库时间 2022-08-23 12:56:58
机译: 半导体晶片的缺陷检查设备,具有数据处理单元,该数据处理单元将一组图像与先前由传感器获取的晶片表面的另一组图像进行比较,并基于图像比较自动检测缺陷
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