公开/公告号CN113502535B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-10
原文格式PDF
申请/专利权人 材料科学姑苏实验室;埃特曼(苏州)半导体技术有限公司;
申请/专利号CN202111053039.6
申请日2021-09-09
分类号C30B25/12(20060101);C30B25/02(20060101);
代理机构32256 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人王锋
地址 215000 江苏省苏州市工业园区若水路388号
入库时间 2022-08-23 12:56:09
机译: 分子束源细胞,分子束外延生长装置和分子束外延生长
机译: 分子束外延生长设备的清洁方法,使用分子束外延生长设备制造基板的方法和设备
机译: 分子束外延生长形成的薄膜的导电类型的控制方法及使用该方法的分子束外延装置