基于SPECS生产的分子束外延设备样品加热平台的改进

摘要

改进了分子束外延设备样品加热平台的加热和测温方式,在原有热辐射加热和红外测温的基础上,增加直流电流加热并采用比例积分微分(PID)精密控温装置对样品加热台进行测温和控温.改进后,原有设备所能制备的研究样品范围更广,并且还增加了围绕设备所展开的科研方向,扩充了设备的使用范围.