微悬臂梁疲劳特性的电容检测结构与方法

摘要

微悬臂梁疲劳特性的电容检测结构与方法是一种专门用于检测微悬臂梁疲劳特性的装置和方法，该结构是在硅衬底(11)上设置一层氮化层(12)，在氮化层(12)的上方悬空设有一组测试结构，在氮化层(12)的上表面设有一组与测试结构相对应的下电极，在测试结构与下电极间施加交变的压差，实现悬臂梁的往复振动，对于不同的振动阶段，因悬臂梁的刚度变化将造成下拉位移的变化，通过检测测试结构与下电极间电容的变化，反映出悬臂梁结构的疲劳过程直至寿命终止。该结构和方法具有简单直观、可靠性好、精度高的优点。