具有防闪耀DMD的分辨率增强的数字光刻

摘要

本公开内容的实施方式整体涉及用于处理一个或多个基板的方法和设备，并且更具体地涉及用于数字光刻系统的改善的空间光调制器和使用改善的空间光调制器的数字光刻方法。所述空间光调制器经构造以使得在相邻空间光调制器像素之间存在180度的相移。所述空间光调制器对于通过形成多个部分重叠的图像的像素混合是有用的，所述多个部分重叠的图像中的至少一个具有由其间具有180度相移的第一对相邻空间光调制器像素形成的至少两个像素。所述空间光调制器产生改善的分辨率、焦深和像素混合。