用于微机械式环形谐振器的温度补偿装置和方法

摘要

一时基，其包括一个谐振器(4)和一个用于驱动该谐振器(4)发生振荡以便随此振荡产生具有确定频率的信号的集成电子电路，所述谐振器是一集成微机械式环形谐振器(4)，所述时基的特征在于，多个电极(100，120；130，150)设置在所述独立式振荡构件(6)之下，以在基本上垂直于所述衬底(2)的一平面中，并且具有与所述旋转振荡模式的谐振频率不同的谐振频率这样的方式驱动和检测垂直振荡模式，两个振荡模式的谐振频率之间的频率差别用于补偿温度对由所述时基产生的所述信号的频率的影响。