一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉

摘要

本公开提供一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉，该单晶炉热场加热器组件包括：设置于单晶炉热场内的坩埚底部的底部加热器，底部加热器的中部设有通孔，通孔内设有绝缘轴承套，底部加热器通过绝缘轴承套固定于坩埚的坩埚轴上，以使底部加热器在坩埚轴带动下运动；至少一组导向组件，包括导轨和滑动件，导轨设置在底部加热器的侧面，导轨的导向方向与坩埚轴的轴向相同，滑动件连接至底部加热器，滑动件以可移动方式设置在导轨上，滑动件在底部加热器带动下沿导轨运动。本发明的单晶炉热场加热器组件及单晶炉，可改善相关技术中单晶炉热场内坩埚底部保温场不稳定和硅液沉积现象，提高晶棒长晶过程中底部温度场的稳定性，提升晶棒的整体品质。