直拉单晶炉的热场节能改造

摘要

本论文涉及直拉单晶炉，炉内热场设计，以及热场模拟。通过对热场部件：炉底盘及外导流筒重新设计并且通过热场模拟软件验证效果后，展开实验，结果表明使用改造过的炉底盘和新型外导流筒，单晶生产能耗有大幅下降，达到25.4％的节能效果。