公开/公告号CN107275254B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-19
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN201710142910.7
申请日2017-03-10
分类号H01L21/67(20060101);
代理机构11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘新宇
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 12:50:00
机译: 基板处理装置,基板处理系统,基板处理装置的控制方法,以及基板处理系统的控制方法
机译: 基板处理装置,基板处理系统,基板处理装置的显示方法以及基板处理装置的控制方法
机译: 基板输送装置,热处理装置,基板处理系统,基板输送装置的控制方法,以及热处理装置的控制方法