一种超高灵敏度多巴胺生物传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种超高灵敏度多巴胺生物传感器及其制备方法，属于生物传感器领域，实现了对多巴胺的快速电化学响应，具有低至0.4pM的检测限，优异选择性，且工艺简单、成本低廉，适合临床诊断和生理功能检测，特别是活体多巴胺静态基础值的测定。本发明的多巴胺生物传感器包括从上至下依次为HfO2超薄膜、导电硅衬底、Al电极；采用与半导体工艺兼容的热ALD或等离子体增强ALD在导电硅基底上低温沉积HfO2超薄膜；再在硅衬底背面蒸镀金属铝以形成良好的电学接触，即获得了多巴胺生物传感器。