一种发光二极管芯片制造的光刻工艺中的显影装置

摘要

本发明公开了一种发光二极管芯片制造的光刻工艺中的显影装置，属于半导体技术领域。显影装置包括芯片装载容器、挂架和晃动机构，晃动机构包括第一气缸、第二气缸、第三气缸、第一平板和第二平板；第一平板和第二平板相对设置，第一气缸和第二气缸分别固定在第一平板和第二平板之间；第三气缸的活塞杆固定在第一平板上，第三气缸的缸体和第二平板分别位于第一平板的两侧，第三气缸位于第一气缸和第二气缸之间；芯片装载容器通过挂架固定在第二平板上，芯片装载容器和第一平板分别位于第二平板的两侧，挂架位于第一气缸和第二气缸之间。本发明显影充分，提升了芯片的成品率。