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划片设备及划片方法

摘要

本发明提供一种划片设备及划片方法,所述划片设备沿着介入物质的图案切割粘合基板,所述粘合基板包括第一基板、第二基板、以及以预定图案介入于第一基板及第二基板之间的介入物质,其中,所述划片设备包括:划片单元,其沿着所述介入物质的图案在所述第一基板及第二基板的表面上形成划片线;以及,激光束照射单元,其向所述介入物质的至少一部分照射激光束,使所述介入物质的至少一部分变性。

著录项

  • 公开/公告号CN107117803B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-11-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 塔工程有限公司;

    申请/专利号CN201611253501.6

  • 申请日2016-12-30

  • 分类号C03B33/02(20060101);C03B33/10(20060101);

  • 代理机构72003 隆天知识产权代理有限公司;

  • 代理人黄艳;李英艳

  • 地址 韩国庆尚北道

  • 入库时间 2022-08-23 12:44:42

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