一种基于多腔亚波长光栅结构的偏振器件

摘要

本发明公开了一种基于多腔亚波长光栅结构的偏振器件，所述偏振器件包括基底和薄膜结构；所述基底上具有光栅，所述薄膜结构设置在所述光栅的顶部和底部；所述薄膜结构包括至少两层金属层和至少一层介质层，其中，每层所述介质层均位于两个所述金属层之间。本发明实施例的偏振器件基于多腔亚波长光栅结构的偏振器件为实现超带宽，性能优异，容易制备的偏振器件提供了一个新的思路。