一种基于亚波长光栅结构的多模干涉型偏振不敏感功分器

摘要

本发明公开了一种基于亚波长光栅结构的多模干涉型偏振不敏感功分器，属于硅基光子学领域。该功分器部件包括输入波导(1)、输入锥形波导(2)、多模干涉耦合区(3)、第一输出锥形波导(4)、第二输出锥形波导(5)、第一输出波导(6)、第二输出波导(7)、输入端锥形亚波长光栅结构(8)、亚波长光栅结构(9)。本发明结合了亚波长光栅结构和多模干涉耦合器，利用亚波长光栅结构的折射率可调性以及双折射特性，实现功分器的偏振不敏感。本发明功分器具有插入损耗低、反射损耗低、工作带宽大、结构紧凑、制造方便等优势，且采用绝缘体上硅材料系统，便于与其他器件集成。