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致谢
1 绪论
1.1 研究背景
1.1.1 光通信发展现状
1.1.2 单模光纤和多模光纤
1.2 国内外研究现状及发展动态分析
1.2.1 光网络用光无源器件的特点和类型
1.2.2 玻璃基离子交换的发展
1.2.3 多模干涉器件的发展
1.3 项目的研究内容和目标
1.3.1 项目的研究内容
1.3.2 研究目标
1.4 本项目的创新点与全文框架
1.4.1 创新点
1.4.2 全文框架
参考文献
2 玻璃基离子交换
2.1 离子交换技术的优势
2.2 离子交换技术基本原理
2.2.1 玻璃的结构
2.2.2 迁移机理
2.2.3 折射率变化
2.3 离子交换技术的特点与分类
2.3.1 按交换离子分类
2.3.2 干法交换和湿法交换
2.3.3 一次热交换、两次热交换、电场辅助离子交换
2.4 Ag+-Na+电场辅助离子交换流程
2.4.1 基片的清洗
2.4.2 铝膜的淀积
2.4.3 光刻
2.4.4 腐蚀和去胶
2.4.5 热扩散离子交换
2.4.6 电场辅助掩埋工艺
2.4.7 研磨与抛光
2.5 Ag+-Na+电场辅助离子交换的几个关键问题
2.5.1 玻璃基材料
2.5.2 掩埋深度对掩膜宽度的依赖
2.5.3 一次交换掩膜问题
参考文献
3 多模干涉器件
3.1 多模干涉原理
3.1.1 经典原理
3.1.2 导模传输分析法
3.1.3 多模干涉在渐变折射率中的特性
3.2 器件应用
3.2.1 1×N和N×N多模干涉耦合器
3.2.2 MMI型2波长波分复用器
3.2.3 MMI-MZI光开关
3.2.4 阵列波长复用器
参考文献
4 1×2和1×4功分器的设计和制作
4.1 功分器的结构
4.1.1 旁接波导结构
4.1.2 Taper结构
4.1.3 Slot结构
4.1.4 Y分叉的改进
4.2 1×2功分器结构的仿真
4.2.1 MMI型1×2功分器设计
4.2.2 Y分叉型1×2功分器设计
4.3 1×4功分器的设计
4.3.1 MMI型1×4功分器设计
4.3.2 Y分叉型1×4功分器设计
4.4 版图设计
4.4.1 1×2版图
4.4.2 1×4功分器版图
参考文献
5 功分器的测试结果和分析
5.1 工艺参数的确定
5.2 器件实验结果
5.3 结果分析
参考文献
6 论文总结和展望
6.1 论文总结
6.2 论文展望
作者简历