清洁度评价方法、清洗条件决定方法、和硅晶圆的制造方法

摘要

提供具有碳化硅表面的部件的清洁度评价方法，其包括：使前述碳化硅表面与氢氟酸、盐酸和硝酸的混酸接触；通过加热浓缩与前述碳化硅表面接触的混酸；将通过前述浓缩而得到的浓缩液稀释从而得到试样溶液，将所得试样溶液供于利用电感耦合等离子体质谱仪的金属成分的定量分析；和，基于通过前述定量分析而得到的金属成分定量结果，评价前述具有碳化硅表面的部件的清洁度。