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基于二氧化钛纳米管和石墨烯异质结紫外光电探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了基于二氧化钛纳米管和石墨烯异质结紫外光电探测器及其制备方法,包括二氧化钛纳米管以及石墨烯,所述二氧化钛纳米管和石墨烯之间设置有二氧化钛薄膜。本发明在二氧化钛纳米管上镀一层二氧化钛薄膜,降低异质结缺陷和载流子的复合几率,优化它与石墨烯的接触,抑制暗电流,提高光电流,从而达到提升探测器响应度和响应率的目的。

著录项

  • 公开/公告号CN111048620B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-10-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 电子科技大学;

    申请/专利号CN201911138777.3

  • 申请日2019-11-20

  • 分类号H01L31/109(20060101);H01L31/18(20060101);H01L31/0352(20060101);H01L31/032(20060101);B82Y40/00(20110101);

  • 代理机构51230 成都弘毅天承知识产权代理有限公司;

  • 代理人轩勇丽

  • 地址 610054 四川省成都市成华区电子科技大学(沙河)

  • 入库时间 2022-08-23 12:41:41

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