砷化镓/砷化铝分布布拉格反射镜的湿法腐蚀方法

摘要

一种砷化镓/砷化铝分布布拉格反射镜的湿法腐蚀方法，其特征在于，包括如下步骤：(A)在衬底上，使用分子束外延的方法外延生长砷化镓缓冲层；(B)在砷化镓缓冲层上生长多个周期分布布拉格反射镜；(C)对分布布拉格反射镜进行光刻，形成光刻胶图形，该光刻胶图形中光具有光刻胶保护的条宽；(D)用腐蚀溶液腐蚀掉部分周期的分布布拉格反射镜；(E)然后交替使用腐蚀溶液和选择性腐蚀液分别腐蚀分布布拉格反射镜，以便能够精确达到所要求的腐蚀深度。