机械手用限位结构、机械手、传输腔室和半导体处理设备

摘要

本发明公开了一种限位结构、机械手、传输腔室和半导体处理设备。包括限位件和与限位件相对设置的接触组件，限位件上设置有缓冲部和限位部，接触组件与限位件之间产生相对运动时，接触组件能够在缓冲部上平缓移动后经限位部限位。本发明的限位结构，利用所设置的限位件和接触组件之间的运动配合关系，可以使得机械手指在直线模组上经过缓冲部的平缓移动后在被限位部所限位，以此实现机械手指与直线模组的位置固定，从而可以使得被加工工件在机械手上的相对位置能够保持不变，能够实现机械手的连贯传动，进而能够提高该被加工工件的加工良率，降低制作成本。