多色大面阵红外探测器及其制备方法

摘要

本申请公开了一种多色大面阵红外探测器及其制备方法，涉及半导体光电子领域。探测器包括探测器外壳、光学窗片、转动轴、传动轴、滚筒、多组焦平面芯片封装杜瓦装置、制冷装置、固定轴、电刷、镜头、信号处理电路和显示器。本申请将不同探测波段的焦平面芯片封装于不同杜瓦中，然后将焦平面芯片封装杜瓦装置按照一定的轴向对称方式排布焊接于滚筒的轴面上，通过滚筒的转动实现不同波段的探测，最终实现多色红外探测图像成像图。本申请仅通过单色焦平面芯片封装杜瓦装置阵列镶嵌和并列连接就可实现多色，节省工艺时间，实现低成本。此外，本申请多色大面阵红外焦平面探测器还能够根据实用领域实现不同波段波长耦合和信号输出。